See Sputter Target

1. Mõõtmed: läbimõõt 50-400mm X paksus 3-28mm
2. Hinne: R05200 R05400 R05252 (Ta-2.5W) R05255 (Ta{7}}W)
3. Puhtus: 99,95% või suurem (maksimaalselt 99,99%)
4. Ümberkristalliseerimine: vähemalt 95%
5. Tera suurus: vähemalt 40 um
6. Pinna karedus: maksimaalne Ra0.4
7. Tasasus: 0,1 mm või maksimaalne 0,10%
8. Tolerants: läbimõõt +/-0,254 mm

Küsi pakkumist

Toote tutvustus

Yushengi metallist tantaali pihustamise sihtmärk tootmisprotsess
Yusheng Metalli tantaali pihustamise sihttooteid töödeldakse tantaali valuplokkidest, kasutades EB elektronpommitamist, valtsimist ja lõõmutamist. Selle protsessi käigus tehtud sihtmärkidel on ühtlane kristallstruktuur, tekstuur ja energiajaotus ning hea sisemine struktuur.

Viimastel aastatel on IC (integraallülituste) tööstuse mastaabid jätkuvalt laienenud ning ka kiibitöötlustehnoloogia on arenenud suure tiheduse suunas. Tantaali kasutatakse selle tugeva keemilise stabiilsuse tõttu sageli vasest ühendamise protsessis difusioonitõkkekihi pihustuskattematerjalina. Tantaali pihustusobjektide ühtlane mikrostruktuur mõjutab otseselt pihustusjõudlust.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). Õhukeste kilede valmistamisel muutub pommitamiskiirus sõltuvalt sihtpaksusest, mis mõjutab pihustusprotsessi stabiilsust.

Ta pihustamise sihtmärgi põhimõte

Tantaali kasutatakse sageli elektrolüütkondensaatorite tootmisel, kuna see on võimeline moodustama õhukesi oksiide ja oksiidikihi kaitsvat olemust. Aurustamist kasutati tantaali sadestamise varases staadiumis, kuid kuna 1960. aastate lõpus tekkisid õhukese kile sadestamise parimate meetoditena füüsikalised aur-sadestamise tehnikad, nagu pihustuskatmine, asendasid need aurustamise.

Füüsilise aurustamise-sadestamise protsessis kasutavad ioniseeritud argooni aatomid elektromagnetilist mehaanikat, et tabada sihtmärki, purustades metalli sihtmärgi aatomid, ja metalli sihtmärgi aatomid sadestatakse substraadile, moodustades õhukese kile.

tantaali pihustamise sihtmärk

tantaalsiht

Yushengi metallitootmisseadmed

Yusheng Metalil on täielik komplekt teadusuuringuid, tootmist, katsetamist, müügi- ja teenindussüsteeme alates sulatamisest, sepistusest, kuumvaltsimisest, külmvaltsimisest, viimistlemisest kuni valmismaterjalideni. Sellel on 350KW elektrooniline idapommitamisahi, 2000T hüdrauliline press, 1700mm vaakumlõõmutusahi ning üks 42KW ja kaks 15KW täppissepistusmasinat, 14 viimistlusriba veskit, LDD120, LDD-40, }, LDD-8 kaherealine toruvaltspink, 2-valtsimismasin 500T, 4 külmvaltspinki, 6 külmvaltspinki, masin, 15KW kahepoolse traadi tõmbamise masin, silindriline veski, koorimismasin, pinnalihvija ja rida seadmeid.

product-1477-390

product-1447-391

product-1446-408

Tantaali pihustussihtmärgi kasutamine

Tantaali pihustamise sihtmaterjal on valmistatud survega töödeldud tantaalilehtedest ja sellel on kõrge puhtusastme, peeneteralise, hea ümberkristallimisstruktuuri ja hea kolmeteljelise konsistentsi omadused.
Tantaali pihustusobjekte kasutatakse laialdaselt optoelektroonika ja pooljuhtide tööstuses. Neid kasutatakse peamiselt katoodpihustuskatete, kõrgvaakumi imemisega aktiivmaterjalide, optiliste kiudude, pooljuhtplaatide, integraallülituste jne pihustussadestamises. Need on õhukese kiletehnoloogia oluline osa.

202303061121351610a9b7fc6b401bb34eaf1612b007bd

Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.on haruldase kulla tantaali, nioobiumi, vanaadiumi, tsirkooniumi ja hafniumi töötlemise osade ülemaailmne tarnija. See toodab peamiselt juhtmeid, vardaid, plaate, torusid, rõngaid, tiigleid jne ja muid mittestandardseid spetsiaalseid töötlemisosi. Avaldame regulaarselt teavet, mis on seotud meie ettevõtte toodete ja materjalivaldkondadega, hõlmates kogu materjalitehnoloogia uurimis- ja arendustegevuse ahelat, materjalide saavutuste industrialiseerimist, materjalitoodete rakendamist ja edendamist, materjalitööstuse aglomeratsiooni ja materjalitööstuse ökoloogiat. Olete teretulnud meiega igal ajal ühendust võtma.