Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. on spetsialiseerunud nende uurimisele ja tootmiseletantaali pihustussihidja vaakumkattematerjalid. Kuna tantaal on võimeline moodustama oksiidkilesid ja sellel on kaitsev toime, kasutatakse tantaali sihtmärke laialdaselt elektrolüütkondensaatorite valmistamisel substraatidena. Seekord tutvustati tantaali pihustussihikute rakendamist mikroelektroonika valdkonnas.
Tantaalsihtmärgid termiliste tindiprinteripeade rakendustele
Termo-tindiprinteri päid saab kasutada õhukese kile integraallülituste valmistamisel, mis hõlbustab tantaali sihtmärkide kasutamist. Integraallülituste tootmisprotsessis kasutatakse õhukese kile takisteid tindi kilekihi kiireks kuumutamiseks energiatihedusega 1,28E9 vatti/m2, nii et mõned eriti väikesed tindid aurustuvad, moodustades väljaveninud mullid, mis on tegelikult väikesed. tindipiisad väljutasid. . Kuna kõrge temperatuuriga tindid võivad mõnedes tindiprinteriseadmetes põhjustada kavitatsiooni, võib tantaalkavitatsioonivastaste kilede kasutamine kaitsta tindiseadmeid.
Tantaalsihtmärgid vasega katmiseks
Tantaalõhukestel kiledel on integraallülituste tootmisprotsessis ilmsed eelised. Üks peamisi edusamme tantaali pihustusobjektide kasutamisel on vaskkatte kasutamine. Vase moodustamiseks ei saa kasutada fotoresist maske ja plasmasöövitustehnikaid, kuna vask on madala temperatuuriga plasmasöövitamise tingimustes. Soovitud lenduvaid koostisosi ei moodustu. Üldiselt on vaskmaterjalide kõrge juhtivuse tõttu vajalik, et tõkkekile oleks vask täielikult isoleeritud. Kui aga tõkkekile on liiga paks, lähevad vasest ühenduste kõrge juhtivuse eelised kaotsi. Seetõttu on oluline, et tõkkekile sadestamine vaskplaadistuse skeemis oleks hea astmekattega ja vähendatud eenditega läbiva/kraavi tühimike juures. 0.10 um vasest IC-de asendamisel on tantaali- ja lämmastikoksiidiga PVD-tõkkekiledel mõned ainulaadsed eelised, nagu vase hea difusioon ja hea adhesioon elektrolüütide ja vasega.
The99,98 protsenti tantaali sihtmärkeBaoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. toodetud tooteid kasutatakse sageli kütteosadena, soojusisolatsiooniosadena ja vaakumkõrgahjude laadimismahutitena. Meie ettevõtte toodetud tantaalmärke ei saa kasutada keemiatööstuses substraatidena. , lennundustööstus, meditsiiniseadmed ja muud valdkonnad.
